0512-6915 6669181-1277-7966
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产品特点
1、发光原理及产品结构不同于传统气体放电灯(汞灯或氙灯等)；
2、主要产生峰值波长172nm的真空紫外线(VUV)。
主要用途
晶片清洗、聚合物去除、臭氧提炼、超级纯净水的精制加工等。
光谱分布图
输入能量的近40%可有效转换为真空紫外线。
应用领域广泛
1、清洗LCD/OLED基板；
2、去除有机残留物或保护膜；
3、清洗光掩模；
4、蚀刻作业；
5、光诱导CVD和Metalization(金属化)。
臭氧的提炼
1、高效率臭氧提炼：82g/kwh
2、无需冷却处理；
3、臭氧自制。
其他应用领域
1、荧光体的性能评价；
2、光化学实验；
3、水净化处理和纯净水的精制加工。
UV / 臭氧清洗流程示意图
在FPD(平板显示器)生产过程中UV/臭氧清洗的应用，不仅显著改善玻璃基板的湿润性，且其作业效率是低压汞灯的近20倍。
产品结构图
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